詳細(xì)說(shuō)明
直線電機(jī)定位平臺(tái)
大銀提供多樣化的定位平臺(tái)
直線電機(jī)定位平臺(tái)有:①單軸定位平臺(tái):標(biāo)準(zhǔn)件 ,②單軸定位平臺(tái):客制化,③雙軸定位平臺(tái):標(biāo)準(zhǔn)件,④雙軸定位平臺(tái):客制化
,⑤龍門(mén)架位平臺(tái):標(biāo)準(zhǔn),⑥龍門(mén)架位平臺(tái):客制化
,⑦空氣軸承定位平臺(tái)
,⑧平面伺服電機(jī)LMSP,⑨智旋傳動(dòng)機(jī)械手
空氣軸承定位平臺(tái)
針對(duì)先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開(kāi)發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺(tái)
空氣軸承定位平臺(tái)
針對(duì)先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開(kāi)發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺(tái)
。領(lǐng)先同業(yè)采用新型真空預(yù)壓低耗能氣浮軸承、動(dòng)態(tài)反作用力平衡與慣性補(bǔ)償技術(shù)
,可于千分之一秒內(nèi)達(dá)到奈米誤差內(nèi)要求
,大幅減少運(yùn)動(dòng)整定時(shí)間與組件磨耗率
,提升設(shè)備生產(chǎn)力與可靠性
。完整智能化遠(yuǎn)程系統(tǒng)偵測(cè)與全球客服支持提供,幫助客戶大幅縮短設(shè)備開(kāi)發(fā)時(shí)程
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,上銀直線電機(jī)汽浮平臺(tái)
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